SETO 1.67 Photochrome Linse SHMC

1)Was ist Spin-Coating?

Beim Schleuderbeschichten handelt es sich um ein Verfahren zur Abscheidung gleichförmiger dünner Filme auf flachen Substraten.Normalerweise wird eine kleine Menge Beschichtungsmaterial auf die Mitte des Substrats aufgetragen, das sich entweder mit niedriger Geschwindigkeit oder überhaupt nicht dreht.Anschließend wird das Substrat mit einer Geschwindigkeit von bis zu 10.000 U/min gedreht, um das Beschichtungsmaterial durch Zentrifugalkraft zu verteilen.Eine zum Schleuderbeschichten verwendete Maschine wird Spin Coater oder einfach Spinner genannt.
Die Drehung wird fortgesetzt, während die Flüssigkeit von den Rändern des Substrats abgeschleudert wird, bis die gewünschte Dicke des Films erreicht ist.Das verwendete Lösungsmittel ist in der Regel flüchtig und verdunstet gleichzeitig.Je höher die Drehgeschwindigkeit ist, desto dünner ist der Film.Die Dicke des Films hängt auch von der Viskosität und Konzentration der Lösung sowie dem Lösungsmittel ab.Eine bahnbrechende theoretische Analyse des Schleuderbeschichtens wurde von Emslie et al. durchgeführt und von vielen nachfolgenden Autoren erweitert (darunter Wilson et al., der die Ausbreitungsgeschwindigkeit beim Schleuderbeschichten untersuchte; und Danglad-Flores et al., der a. fand). universelle Beschreibung zur Vorhersage der abgeschiedenen Filmdicke).
Die Schleuderbeschichtung wird häufig bei der Mikrofabrikation funktioneller Oxidschichten auf Glas- oder Einkristallsubstraten unter Verwendung von Sol-Gel-Vorläufern eingesetzt, wo damit gleichmäßige dünne Filme mit einer Dicke im Nanomaßstab erzeugt werden können.[6]Es wird intensiv in der Fotolithografie eingesetzt, um etwa 1 Mikrometer dicke Fotolackschichten abzuscheiden.Fotolack wird typischerweise 30 bis 60 Sekunden lang mit 20 bis 80 Umdrehungen pro Sekunde geschleudert.Es wird auch häufig zur Herstellung planarer photonischer Strukturen aus Polymeren verwendet.
Ein Vorteil der Schleuderbeschichtung dünner Filme ist die Gleichmäßigkeit der Filmdicke.Aufgrund der Selbstnivellierung variieren die Dicken nicht um mehr als 1 %.Allerdings kann das Schleuderbeschichten dickerer Filme aus Polymeren und Fotolacken zu relativ großen Randperlen führen, deren Planarisierung physikalische Grenzen hat.